[2A13]専用LSIを用いた高精度交流インピーダンス測定システムの開発と評価
○Yuichiro Nishimura1, Hideaki Ito1, Lei Lin1, Masahiro Fukui1, Takumi Kato2, Yu Okada3, Kenichi Matsumoto3, Masayuki Yokoyama2, Akira Kawabe2, Keiichi Fujii2, Hitoshi Kobayashi2(1.立命館大, 2.パナソニックセミコンダクターソリューションズ, 3.パナソニックデバイスシステムテクノ)

