第34回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
Mar 3 - Mar 5, 2020横浜国立大学
第34回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
Mar 3 - Mar 5, 2020横浜国立大学
[3C1-02]薄いZr薄膜を用いた原子拡散接合法によるウエハ室温接合
〇魚本 幸1、島津 武仁1,2(1. 東北大学 学際科学フロンティア研究所、2. 東北大学 電気通信研究所)
Password required to view
Abstract password authentication.
Password is required to view the abstract. Please enter a password to authenticate.
Password is required to view the abstract. Please enter a password to authenticate.