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[S7.4]New understanding of the growth mechanism in the SiC single crystal sublimation method and considerations based on computational thermodynamics

*MINOWA Takehisa, ABE Taichi1 (1. National Institute for Materials Science)

Keywords:

SiC,単結晶,昇華法,状態図,熱力学計算

単結晶SiC昇華法の成長メカニズムに関して、金相学的観察と熱力学的状態図計算による見直しを行い、従来考えられていたメカニズムの問題点を明らかにし、新たな昇華法の考え方について提案するものである。

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