Presentation Information
[S7.4]New understanding of the growth mechanism in the SiC single crystal sublimation method and considerations based on computational thermodynamics
*MINOWA Takehisa, ABE Taichi1 (1. National Institute for Materials Science)
Keywords:
SiC,単結晶,昇華法,状態図,熱力学計算
単結晶SiC昇華法の成長メカニズムに関して、金相学的観察と熱力学的状態図計算による見直しを行い、従来考えられていたメカニズムの問題点を明らかにし、新たな昇華法の考え方について提案するものである。
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