The 60th Annual Meeting on Radioisotopes and Radiation Researches
Jul 5 - Jul 7, 2023
The 60th Annual Meeting on Radioisotopes and Radiation Researches
Jul 5 - Jul 7, 2023
[1C03-05-01]化学増幅型レジストにおける酸発生剤の分解機構と分解前後の分子構造の変化がレジスト溶解に与える影響の解明【※】【※】若手優秀講演賞エントリー
〇津田 嘉香1、室屋 裕佐1、古澤 孝弘 1、池田 卓也2、小室 嘉崇2(1. 阪大・産研/古澤研、2. 東京応化工業)