The 61st Annual Meeting on Radioisotopes and Radiation Researches
Jul 3 - Jul 5, 2024Miraikan - The National Museum of Emerging Science and Innovation
The 61st Annual Meeting on Radioisotopes and Radiation Researches
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[1C07-10-01]EUVおよびEBリソグラフィー用有機Sn側鎖高分子の反応機構解析およびパターニング評価【※】【※】若手優秀講演賞エントリー
〇橋本 康平1、高田 結衣、室屋 裕佐1、古澤 孝弘1、町田 康平2、榎本 智至2、Bilal Naqvi3、Danilo De Simone3(1. 阪大産研、2. 東洋合成工業、3. imec)