The 76th JSAP Autumn Meeting, 2015
Sep 13 - Sep 16, 2015Nagoya Congress Center
The 76th JSAP Autumn Meeting, 2015
Sep 13 - Sep 16, 2015Nagoya Congress Center
[16a-2K-5]pH measurement of ultra-diluted chemistries
〇Kazuhiro Miyamura1, Yoko Nakai1, Yoshihiro Mori1(1.HORIBA, Ltd.)
Keywords:
semiconductor,pH,chemical
半導体プロセスにおいてエッチング液や洗浄液の多成分化・希薄化が進行しており、従来技術では各成分の濃度測定が困難になりつつある。そこで希薄薬液の特性を顕著に表すpHを指標とした数ppmレベルの薬液成分濃度測定の可能性を検討した。