The 63rd JSAP Spring Meeting, 2016
Mar 19 - Mar 22, 2016 Tokyo Inst. of Tech. Ookayama Campus
The 63rd JSAP Spring Meeting, 2016
Mar 19 - Mar 22, 2016 Tokyo Inst. of Tech. Ookayama Campus
[21a-P1-3]Raman spectroscopy observation of ta-C thermal damage in Argon atmosphere
〇TOMOMI KOZU1, MAKOTO YAMAGUCHI2, MASAHIRO KAWAGUCHI3(1.RENISHAW, 2.Akita Univ., 3.TIRI)
Keywords:
Diamond like carbon,Raman spectroscopy,Deep ultraviolet
ta-Cはコーティング材料として使用され、その評価には深紫外ラマン分光が有効である。しかし紫外光照射により損傷が起こり正確な評価が行えない。ta-Cの損傷の挙動を調べる為に今回は不活性ガス中での熱損傷をラマン分光を用いて観察した。