The 64th JSAP Spring Meeting, 2017
Mar 14 - Mar 17, 2017PACIFICO YOKOHAMA
The 64th JSAP Spring Meeting, 2017
Mar 14 - Mar 17, 2017PACIFICO YOKOHAMA
[16a-P1-19]Development of Students Experiments using the Blue LED -Fabrication Process-
〇Kazuki Shiogai1, Naoki Wada1, Akihiro Wakahara2, Hiroto Sekiguchi2, Shiro Sakai3(1.NIT, Niihama College, 2.Toyohashi Univ. of Tech., 3.Tokushima Univ.)
Keywords:
blue LED,students experiments,semiconductor
専門科目の講義や実験を早期導入できる高専教育の高度化として、学生実験への「青色LEDの製作と評価」の導入を計画している。そこで、実験教材のための青色LED製作プロセスの開発を行った。豊橋技科大よりn形電極まで形成したウェハーの供給を受け、p形電極形成から、後工程のパッケージングまで行った。その結果、明るい青色発光のLEDパッケージを製作できた。