The 64th JSAP Spring Meeting, 2017
Mar 14 - Mar 17, 2017PACIFICO YOKOHAMA
The 64th JSAP Spring Meeting, 2017
Mar 14 - Mar 17, 2017PACIFICO YOKOHAMA
[16a-P1-29]Improvement of characteristics of Schottky diodes for teaching materials
Toshinori Eko1, Ryota Mori1, 〇Atsushi Utsumi1(1.NIT, Maizuru)
Keywords:
Schottky diode,teaching materials
半導体デバイスの特性は，材料，形状，周囲温度などによって変化する．これらを理解するためには，学生自身がデバイスを作製し，測定を行う実習が有効である．これまでにシリコン基板とアルミニウムを用いてショットキーバリヤダイオードを作製してきたが，電流電圧特性に大きなばらつきが見られるなど教材として利用しにくいという問題があった．基板，電極材料および作製プロセスを検討することによって特性が改善された．