The 64th JSAP Spring Meeting, 2017
Mar 14 - Mar 17, 2017PACIFICO YOKOHAMA
The 64th JSAP Spring Meeting, 2017
Mar 14 - Mar 17, 2017PACIFICO YOKOHAMA
[16a-P1-35]Preliminary Application of simulation software (PEGASUS) to a Plasma-Based Ion Implantation
〇Tomohiro Mizutane1, Takuya Kano1, Satoaki Oka1, Yoshiki Hirata1, Koji Kakugawa1, Akane Yamashiro1, Eriko Kunichika1, Takeshi Tanaka1(1.Hiroshima Institute of Technology)
Keywords:
Plasma-Based Ion Implantation,PEGASUS
プラズマベースイオン注入(PBII)法は、プラズマに浸された試料に、負の高圧パルス電圧を印加する表面改質法である。本研究では、プラズマベースイオン注入法理解をするために、Arの高周波放電のためのシミュレーションを行い、初歩的な理解を目的とした。