The 80th JSAP Autumn Meeting 2019
Sep 18 - Sep 21, 2019Sapporo Campus, Hokkaido University
The 80th JSAP Autumn Meeting 2019
Sep 18 - Sep 21, 2019Sapporo Campus, Hokkaido University
[18a-PA2-7]Focusing Properties of Concave Micromirror Fabricated by SUMP Method and Laser Lithography
〇Akihiro Matsutani1, Ayako Takada2(1.Tokyo Tech, Semiconductor and MEMS, 2.Tokyo Tech, Biomat. Anal.)
Keywords:
biochip,cell trapping,SUMP method
我々はこれまでにマイクロピラーアレイ構造のマイクロ囲いで微生物の単一細胞分離及びサイズ分離を実現しているが，この単一細胞分離構造に加えてケーラー照明とマイクロ凹面鏡を利用した細胞捕獲機能も加えることができればその応用範囲が拡がるものと考えている．前回はXeF2気相エッチングによりSi基板にマイクロ凹面鏡を製作して細胞の捕獲を試みたが，エッチングに起因する表面粗さが光の散乱を生じさせていた．今回はスンプ法とレーザー描画を用いてセルロイド板にマイクロ凹面鏡を製作したのでその集光特性について報告する．