The 82nd JSAP Autumn Meeting 2021
Sep 10 - Sep 27, 2021Online Virtual Meeting
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[21a-P02-7]Comparison of electrical characteristics of the Schottky diodes using liquid metal, gold and aluminum electrodes
〇Shunya Uchida1, Masaki Kumagai1, Atsushi Utsumi1(1.NIT Maizuru)
Keywords:
diode,liquid metal,Schottky electrode
我々は，特別な製造装置を使用せず，かつ短時間で作製できる半導体デバイスの実現を目指し，現在は液体金属を用いたショットキーバリヤダイオードの実験用教材を開発している．今回，裏面電極に液体金属を使用し，表面電極に金，アルミニウムを蒸着，スパッタしたものと液体金属を塗布して作製したダイオードの特性の比較を行ったのでその結果を報告する．