The 68th JSAP Spring Meeting 2021
Mar 16 - Mar 19, 2021Online Virtual Meeting
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[17a-Z04-4]Influence of Grain Size and Elemental Composition to Plasma Resistance
in Reactive Ion Etching
〇Tetsuyuki Matsumoto2,1, Tetsuya Homma2(1.Kioxia, 2.Shibaura-it)
Keywords:
Yttrium fluoride,Atmospheric plasma spraying,Collision assisted sintering process
大気圧プラズマ溶射および衝撃焼結法でコーティングしたフッ化イットリウムの重量変化、表面粗さ、結晶グレインサイズ、原子組成変化を調べた。結晶グレインサイズが小さくなると、重量変化、F1sの原子組成変化が小さくなる。