The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022
Sep 20 - Oct 17, 2022Kawauchi-Kita Campus, Tohoku University
The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022
Sep 20 - Oct 17, 2022Kawauchi-Kita Campus, Tohoku University
[21p-A301-6]Characterization of the VO2 thin films grown on glass substrates by MOD
〇(M1)Taito Fukawa1, Kazuaki Toyoda1, Masatoshi Koyama1, Nobuya Hiroshiba1, Kazuto Koike1, Hideo Wada1(1.Osaka Inst. Tech.)
Keywords:
vanadium dioxide,smartwindow
二酸化バナジウム (VO2) は通常70℃付近で結晶構造変化を伴う金属絶縁体転移(MIT)を示す。本研究では，ガラス基板にHf0.5Zr0.5O2 (HZO) を形成しNb添加VO2薄膜を成膜して相転移温度の低温化を行った。その結果,HZOバッファ層はガラス基板成分の拡散を防ぐとともに反射低減を助長し可視光透過率と近赤外調光率の向上に寄与することがわかった。