The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022
Sep 20 - Oct 17, 2022Kawauchi-Kita Campus, Tohoku University
The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022
Sep 20 - Oct 17, 2022Kawauchi-Kita Campus, Tohoku University
[21p-A301-9]Investigation of Precise Machining Process for Cladding Layer of Optical Polymer Waveguide
〇Syouhei Lin1, Yuuki Tsuji1, Taegyu Woo1, Joji Maeda1, Taro Itatani2, Takeru Amano2(1.Tokyo Univ. of Science, 2.AIST)
Keywords:
Optical Polymer Waveguide,Semiconductor process,Silicon Photonics
シリコンフォトニクスを中心とした光技術の利用が拡大している。光ファイバーとの接合に用いられるポリマー光導波路において、下部クラッドに精密研削技術を適用することにより、クラッド層の面内ばらつきは±0.2 mm以下に抑えられていることが明らかになり、光導波路の平坦化が実現された。このことからコアの位置と均一性が向上すると考えられ、ポリマー光導波路の集積化における貢献が期待される。