JSAP Spring / Autumn Meeting

電子線レジストSMLはポリメタクリル酸メチル（PMMA）を骨格とするポジ型電子線レジストである。これまでに我々は、電子線露光前に酸素プラズマを照射することでSMLレジストに増感効果が生じることを報告した。本報告では、酸素プラズマ照射前後におけるSML表面のXPS分析を行ったので報告する。