日本機械学会 2023年度年次大会
Sep 3 - Sep 6, 2023東京都立大学（南大沢キャンパス）
日本機械学会 2023年度年次大会
Sep 3 - Sep 6, 2023東京都立大学（南大沢キャンパス）
[J133p-02]Prototype of a unidirectional magnetic field-applied fast atom beam source for surface-activated bonding
〇Kyosuke Oshima1, Wataru Nomura1, Taisei Kato1, Chiemi Oka1, Junpei Sakurai1, Seiichi Hata1(1. 名古屋大学)