日本機械学会 2023年度年次大会
Sep 3 - Sep 6, 2023東京都立大学（南大沢キャンパス）
日本機械学会 2023年度年次大会
Sep 3 - Sep 6, 2023東京都立大学（南大沢キャンパス）
[J133p-04]In-process measurement of carbon aggregate emissions in surface activated bonding
〇Taisho Fukui1, Taisei Kato1, Kyosuke Osima1, Tiemi Oka1, Junpei Sakurai1, Seiiti Hata1(1. 名古屋大学大学院工学研究科)