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日本機械学会 2023年度年次大会
Sep 3
- Sep 6, 2023
東京都立大学（南大沢キャンパス）
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日本機械学会 2023年度年次大会
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日本機械学会 2023年度年次大会
Sep 3
- Sep 6, 2023
東京都立大学（南大沢キャンパス）
[J133p-06]
Simulation estimation of oxide film removal by fast atom beam
〇Yuya Takamatsu
1
, Kyosuke Oshima
1
, Taisei Kato
1
, Chiemi Oka
1
, Junpei Sakurai
1
, Seiichi Hata
1
(1. 名古屋大学)
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