日本表面真空学会学術講演会
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JVSS 2020
Nov 19
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JVSS 2020
Nov 19
- Nov 21, 2020
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[1Ea10]
Fabrication of microstructured TiN films by glancing-angle reactive sputtering
溝口貴大
1)
，中山佳之
2)
，○井上泰志
1,2)
，高井治
3)
(
1)
千葉工大工，
2)
千葉工大院工，
3)
関東学院大材料・表面工学研)
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