日本化学会春季年会
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日本化学会 第103春季年会 (2023)
2023年3月22日
〜3月25日
東京理科大学 野田キャンパス
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日本化学会 第103春季年会 (2023)
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日本化学会 第103春季年会 (2023)
2023年3月22日
〜3月25日
東京理科大学 野田キャンパス
[K202-4am-09]
シリコン結晶成長における素反応の解析と速度定数の評価
○
石塚 茉奈
1
、山口 勉功
1
、国吉 ニルソン
1
(1. 早稲田大学)
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[言語]日本語
キーワード:
反応動力学、化学蒸着法、シミュレーション、量子化学計算、遷移状態理論
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