日本化学会 第103春季年会 (2023)

日本化学会 第103春季年会 (2023)

2023年3月22日〜3月25日東京理科大学 野田キャンパス
日本化学会春季年会
日本化学会 第103春季年会 (2023)

日本化学会 第103春季年会 (2023)

2023年3月22日〜3月25日東京理科大学 野田キャンパス

[K202-4am-09]シリコン結晶成長における素反応の解析と速度定数の評価

石塚 茉奈1、山口 勉功1、国吉 ニルソン1(1. 早稲田大学)
[言語]日本語

キーワード:

反応動力学、化学蒸着法、シミュレーション、量子化学計算、遷移状態理論