一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第34回エレクトロニクス実装学会春季講演大会

2020年3月3日〜3月5日横浜国立大学

一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第34回エレクトロニクス実装学会春季講演大会

2020年3月3日〜3月5日横浜国立大学

[3C1-02]薄いZr薄膜を用いた原子拡散接合法によるウエハ室温接合

〇魚本幸¹、島津武仁^1,2(1. 東北大学　学際科学フロンティア研究所、2. 東北大学　電気通信研究所)

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