公益社団法人日本金属学会

日本金属学会2021年秋期(第169回)講演大会

2021年9月14日〜9月17日オンライン開催

公益社団法人日本金属学会

日本金属学会2021年秋期(第169回)講演大会

2021年9月14日〜9月17日オンライン開催

[P127]Zn添加によるZnO薄膜への酸素欠損の影響

*小林泰河¹、山根治起²、小林政信¹(1. 千葉工業大学、2. 秋田産業技術センター)

キーワード：

ZnO、透明電極、酸化物半導体、酸素欠損

現在、透明電極としてITOが広く使用されている。しかし、将来安定した供給が不安視されており、代替材料の研究が進められている。本研究では、ZnOにZnを添加して酸素欠損の影響について検討した。