[G] 分析・解析・評価

9:00 〜 9:15

[190] ウィークビーム暗視野STEMトモグラフィーを用いた転位の高分解能三次元可視化

*趙 一方¹、坂井 裕貴¹、斉藤 光²、波多 聰³ (1. 九大総理工（院生）、2. 九大先導研、3. 九大総理工)

キーワード：

Scanning transmission electron microscopy、Electron tomography、Three-dimensional (3D)、Dislocations

本研究では、電流増加と画像処理により、ウィークビーム暗視野STEMトモグラフィー（WBDF-STEM-ET）を用いた転位三次元観察の性能を向上させた。従来の二波励起法と比較し、改良WBDF-STEM-ETの利点と課題を検討した。