第61回アイソトープ・放射線研究発表会
2024年7月3日〜7月5日日本科学未来館 ７階未来館ホールほか（東京・お台場）
第61回アイソトープ・放射線研究発表会
2024年7月3日〜7月5日日本科学未来館 ７階未来館ホールほか（東京・お台場）
[1C07-10-01]EUVおよびEBリソグラフィー用有機Sn側鎖高分子の反応機構解析およびパターニング評価【※】【※】若手優秀講演賞エントリー
〇橋本 康平1、高田 結衣、室屋 裕佐1、古澤 孝弘1、町田 康平2、榎本 智至2、Bilal Naqvi3、Danilo De Simone3(1. 阪大産研、2. 東洋合成工業、3. imec)