第83回分析化学討論会

第83回分析化学討論会

2023年5月20日〜5月21日富山大学五福キャンパス
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分析化学討論会
第83回分析化学討論会

第83回分析化学討論会

2023年5月20日〜5月21日富山大学五福キャンパス

[C2011]半導体グレードシリコン表面のホウ素及びリンの超微量分析におけるトリプル四重極ICP-MSのパラメーターの影響

○モハマッド Ｂ．シャバニ1(1. 三菱マテリアル（株）)

キーワード：

Triple-Q-ICP-MS、シリコン、B 及び P

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