2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

2013年3月27日〜3月30日神奈川工科大学
応用物理学会春季・秋季学術講演会
2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

2013年3月27日〜3月30日神奈川工科大学

[27p-B6-6]有機金属塗布熱分解法による微粒子を用いたMgO薄膜の作製 (3:00 PM ~ 3:15 PM)

櫻川康志1,大橋義信1,吉岡秀樹2,清川敏夫3,山本伸一1(龍谷大1,兵庫県立工業技術センター2,タテホ化学工業3)

キーワード:

有機金属塗布熱分解法、酸化マグネシウム