応用物理学会春季・秋季学術講演会

2013年第60回応用物理学会春季学術講演会

2013年3月27日〜3月30日神奈川工科大学

応用物理学会春季・秋季学術講演会

2013年第60回応用物理学会春季学術講演会

2013年3月27日〜3月30日神奈川工科大学

[27p-B6-8]マイクロスプリングアレイの作製条件に関する一検討 (3:30 PM ～ 3:45 PM)

^○兼城千波，岸本享太(沖縄高専)

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キーワード：

スプリングプローブ、弾性応力