2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

2014年9月17日〜9月20日北海道大学札幌キャンパス
応用物理学会春季・秋季学術講演会
2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

2014年9月17日〜9月20日北海道大学札幌キャンパス

[17a-A6-3]Ge/Si(111)ヘテロエピタキシャル成長過程におけるSi(111)7×7表面再構成ストレスのその場観察

魚住雄輝1,2,山崎達也3,朝岡秀人1(原子力機構1,日立パワーソリューションズ2,エイコーエンジニアリング3)

キーワード:

表面再構成、シリコン、水素終端