応用物理学会春季・秋季学術講演会
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2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会
2014年9月17日
〜9月20日
北海道大学札幌キャンパス
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2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会
詳細情報
2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会
2014年9月17日
〜9月20日
北海道大学札幌キャンパス
[17a-A6-3]
Ge/Si(111)ヘテロエピタキシャル成長過程におけるSi(111)7×7表面再構成ストレスのその場観察
○
魚住雄輝
1,2
,山崎達也
3
,朝岡秀人
1
(原子力機構
1
,日立パワーソリューションズ
2
,エイコーエンジニアリング
3
)
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キーワード:
表面再構成、シリコン、水素終端
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