応用物理学会春季・秋季学術講演会
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2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会
2014年9月17日
〜9月20日
北海道大学札幌キャンパス
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2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会
詳細情報
2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会
2014年9月17日
〜9月20日
北海道大学札幌キャンパス
[17a-A8-1]
球型共振器構造MPCVDを用いたダイヤモンド(100)膜のホモエピタキシャル高速成長
○
渡邊俊介
1
,森本隆介
1
,金田大輝
1
,徳田規夫
1,2,3
,加藤宙光
2,3
,梅沢仁
2,3
,山崎聡
2,3
,有屋田修
4
,猪熊孝夫
1
(金沢大院自然
1
,産総研
2
,JST,CREST
3
,アリオス
4
)
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キーワード:
ダイヤモンド、高速成長、MPCVD
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