2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

2014年9月17日〜9月20日北海道大学札幌キャンパス
応用物理学会春季・秋季学術講演会
2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

2014年9月17日〜9月20日北海道大学札幌キャンパス

[17a-A8-1]球型共振器構造MPCVDを用いたダイヤモンド(100)膜のホモエピタキシャル高速成長

渡邊俊介1,森本隆介1,金田大輝1,徳田規夫1,2,3,加藤宙光2,3,梅沢仁2,3,山崎聡2,3,有屋田修4,猪熊孝夫1(金沢大院自然1,産総研2,JST,CREST3,アリオス4)

キーワード:

ダイヤモンド、高速成長、MPCVD