2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年3月17日〜3月20日青山学院大学相模原キャンパス
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年3月17日〜3月20日青山学院大学相模原キャンパス

[17a-D6-3]パルスバイアス電圧印加高周波プラズマCVD法による水素化アモルファス炭素膜の構造変化

○周小龍，小松啓志，戸田育民，大塩茂夫，村松寛之，伊藤治彦，齋藤秀俊(長岡技科大院)
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キーワード：

水素化アモルファス炭素膜、構造変化

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