2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年3月17日〜3月20日青山学院大学相模原キャンパス
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年3月17日〜3月20日青山学院大学相模原キャンパス

[17a-D6-8]Raman characterization and mechanical properties of a-C:H films deposited by rf-PECVD

○Tunmee Sarayut1, Yasuyuki Nakaya1, Xiaolong Zhou1, Ikumi Toda1, Hiroyuki Muramatsu1, Hidetoshi Saitoh1(長岡技科大(院))
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キーワード：

アモルファス炭素膜、厚さ、機械特性

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