2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年3月17日〜3月20日青山学院大学相模原キャンパス
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年3月17日〜3月20日青山学院大学相模原キャンパス

[17a-E10-2]酸素を導入したRFスパッタ法によるZnO薄膜の評価

○安倍大1，森達哉2，千葉博2，奥田修平2，川島知之1,2，鷲尾勝由1,2(東北大工1，東北大院工2)
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キーワード：

酸化亜鉛、マグネトロンスパッタ法、Ar/O2

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