2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年3月17日〜3月20日青山学院大学相模原キャンパス
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年3月17日〜3月20日青山学院大学相模原キャンパス

[17a-E10-4]常圧リモートプラズマCVDを用いたZnO薄膜の成長

○（D）野瀬幸則1，木口拓也1，中村立1，吉村武1，芦田淳1，上原剛2，藤村紀文1(阪府大院工1，積水化学2)
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キーワード：

酸化亜鉛、化学気相成長、大気圧プラズマ

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