2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年3月17日〜3月20日青山学院大学相模原キャンパス
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年3月17日〜3月20日青山学院大学相模原キャンパス

[17a-E10-6]反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法によるZnO系微小光共振器形成の検討

○古澤健太郎1,2，柿畑研人1,2，小山雅史1,2，秩父重英1,2(東北大多元研1，東北大院工2)
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キーワード：

スパッタリング、励起子ポラリトン

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