2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年3月17日〜3月20日青山学院大学相模原キャンパス
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

2014年3月17日〜3月20日青山学院大学相模原キャンパス

[17a-E11-1]歪解放による欠陥フリー単結晶アルミナ基板の作製

○吉武道子，柳生進二郎，知京豊裕(物材機構)
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キーワード：

格子ミスマッチ、拡散、FIB加工

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