2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年9月13日〜9月16日名古屋国際会議場
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年9月13日〜9月16日名古屋国際会議場

[15a-PA1-3]市販DLPプロジェクターを用いた低コストマスクレス露光装置の検討

〇馬場 岳斉1、工藤 幸寛2、高橋 泰樹2(1.工学院大学大学院、2.工学院大学)
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キーワード：

マスクレス露光、DLPプロジェクター

本研究では、DLPプロジェクターを用いて安価で教育用途でも使いやすいマスクレス露光装置を提案する。
　　　
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