[15p-PA2-1] 酸素雰囲気中での深紫外光照射によるta-C薄膜損傷 | 2015年第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年9月13日〜9月16日名古屋国際会議場

2015年9月13日〜9月16日名古屋国際会議場

〇神津知己^1,3、山口誠²、川口雅弘⁴、西田謙³(1.レニショー株式会社、2.秋田大学、3.防衛大学校、4.東京都立産技研)

深紫外光、ラマン分光、アモルファスカーボン

深紫外励起ラマン分光はsp^３結合起因のTピークを観察できるので、sp³結合を含むta-C(Tetrahedral Amorphous Carbon)薄膜の評価に有効である。しかし、深紫外光を照射することで損傷を受ける。今回、ta-C薄膜の酸素雰囲気中での深紫外光照射損傷に付いて述べる。