2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年9月13日〜9月16日名古屋国際会議場
応用物理学会春季・秋季学術講演会
2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年9月13日〜9月16日名古屋国際会議場

[16a-2K-3]印刷によるポーラス電極配線の作製とメッキによる低抵抗化

〇徳久 英雄1、塚本 志帆1、白川 直樹1(1.産総研FLEC)

キーワード:

銅、電極配線、低抵抗

本研究では、印刷パターン通りの低抵抗な電極配線を作製するために、メッキ液が電極配線の内部まで浸透し、緻密化して低抵抗化できるようポーラスな電極配線形成の試みとメッキによる緻密化を行った。