2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年9月13日〜9月16日名古屋国際会議場
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

2015年9月13日〜9月16日名古屋国際会議場

[16a-2K-4]Si3N4/SiO2メンブレン上へ製作したアンテナ結合マイクロボロメータ検出素子の特性評価

〇内田 貴司1、松下 亮人1、立木 隆1(1.防衛大　電気電子)
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キーワード：

マイクロボロメータ、アンテナ結合素子、メンブレン

　　　
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