2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

2015年3月11日〜3月14日東海大学 湘南キャンパス
応用物理学会春季・秋季学術講演会
2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

2015年3月11日〜3月14日東海大学 湘南キャンパス

[11a-A11-2]汎用グリーンレーザーを用いた紫外透過性フッ素ポリマーの微細加工技術開発

〇(B)小川 達也1、及川 良太1、花田 修賢1, 2(1.弘前大学, 2.理研)

キーワード:

紫外透過性フッ素樹脂、YAGレーザー、表面微細加工