応用物理学会春季・秋季学術講演会
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2015年第62回応用物理学会春季学術講演会
2015年3月11日
〜3月14日
東海大学 湘南キャンパス
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2015年第62回応用物理学会春季学術講演会
詳細情報
2015年第62回応用物理学会春季学術講演会
2015年3月11日
〜3月14日
東海大学 湘南キャンパス
[11a-A11-2]
汎用グリーンレーザーを用いた紫外透過性フッ素ポリマーの微細加工技術開発
〇(B)小川 達也
1
、及川 良太
1
、花田 修賢
1,
2
(1.弘前大学, 2.理研)
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キーワード:
紫外透過性フッ素樹脂、YAGレーザー、表面微細加工
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