2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

2016年9月13日〜9月16日朱鷺メッセ
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

2016年9月13日〜9月16日朱鷺メッセ

[14a-D63-4]Si3N4/SiO2/Si基板上に作製したMOD法プリカーサ薄膜の減圧焼成で得たVOx薄膜の特性評価

〇前田 幸平1、立木 隆1、内田 貴司1(1.防衛大電気電子)
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キーワード：

有機金属分解法、VOx薄膜、ボロメータ

　
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