2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会
2016年9月13日〜9月16日朱鷺メッセ
2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会
2016年9月13日〜9月16日朱鷺メッセ
[14p-P11-3]原子間力顕微鏡によるta-C薄膜深紫外線損傷部の観察
〇神津 知己1,3、山口 誠1、川口 雅弘2、吉村 雅満4(1.秋田大学、2.都立産技研センター、3.イノコ株式会社、4.豊田工大)
キーワード：
ダイヤモンドライクカーボン、深紫外光、ラマン分光
Tetrahedral amorphous Carbon (a-C)はsp3結合を含む水素フリーのファスカーボンで、その評価には深紫外光励起ラマン分光法が有効であるとされている。しかし、深紫外光を照射することでta-Cは損傷を受ける。これまで損傷を調べるために温度による損傷などを調べたが、今回は損傷部を原子間力顕微鏡によって観察した。