[21a-P1-3] アルゴン雰囲気中での加熱によるta-C薄膜損傷のラマン分光観察 | 2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

2016年3月19日〜3月22日東工大　大岡山キャンパス

2016年3月19日〜3月22日東工大　大岡山キャンパス

〇神津知己¹、山口誠²、川口雅弘³(1.レニショー、2.秋田大学、3.都立産技研)

ダイヤモンド状炭素、ラマン分光、深紫外光

ta-Cはコーティング材料として使用され、その評価には深紫外ラマン分光が有効である。しかし紫外光照射により損傷が起こり正確な評価が行えない。ta-Cの損傷の挙動を調べる為に今回は不活性ガス中での熱損傷をラマン分光を用いて観察した。