2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

2017年9月5日〜9月8日福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

2017年9月5日〜9月8日福岡国際会議場・国際センター・福岡サンパレス

[5p-A401-3]MOD法によるTiドープしたV2O5薄膜の作製

〇ヴァンニュ ハイ1、前田 幸平1、河原 正美2、佐村 剛2、立木 隆1、内田 貴司1(1.防衛大学校、2.高純度化学研究所)
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キーワード：

半導体、MOD法、バナジウム


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