2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
2017年3月14日〜3月17日パシフィコ横浜
2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
2017年3月14日〜3月17日パシフィコ横浜
[16a-P1-29]ショットキーバリヤダイオード教材の改良
江湖 俊仁1、森 涼太1、〇内海 淳志1(1.舞鶴高専)
キーワード：
ショットキーバリヤダイオード、教材
半導体デバイスの特性は，材料，形状，周囲温度などによって変化する．これらを理解するためには，学生自身がデバイスを作製し，測定を行う実習が有効である．これまでにシリコン基板とアルミニウムを用いてショットキーバリヤダイオードを作製してきたが，電流電圧特性に大きなばらつきが見られるなど教材として利用しにくいという問題があった．基板，電極材料および作製プロセスを検討することによって特性が改善された．