2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
2017年3月14日〜3月17日パシフィコ横浜
2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
2017年3月14日〜3月17日パシフィコ横浜
[16a-P1-35]プラズマベースイオン注入法の理解のためのシミュレーションソフト(PEGASUS)の初歩的な応用
〇水胤 友宏1、狩野 卓也1、岡 聡明1、平田 良樹1、角川 幸治1、山城 朱音1、國近 栄梨子1、田中 武1(1.広工大)
キーワード：
プラズマベースイオン注入法、ペガサス
プラズマベースイオン注入(PBII)法は、プラズマに浸された試料に、負の高圧パルス電圧を印加する表面改質法である。本研究では、プラズマベースイオン注入法理解をするために、Arの高周波放電のためのシミュレーションを行い、初歩的な理解を目的とした。