応用物理学会春季・秋季学術講演会

我々は短時間でかつ低コストで作製できる学生実験用の半導体デバイスの開発をして，実際に導入してきた．これまでにシリコン基板とアルミニウムを用いたショットキーダイオードを作製してきたが，並列抵抗が小さいという問題があった．今回，オーミック接触の形成方法を見直すことによって，並列抵抗を飛躍的に増加させることができた．