[19p-221A-1] 無電解金メッキ液を用いたナノワイヤ成長用金微粒子の作製 | 2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

2018年9月18日〜9月21日名古屋国際会議場

2018年9月18日〜9月21日名古屋国際会議場

〇舘野功太^1,2、章国強^1,2、滝口雅人^1,2、佐々木智¹(1.NTT物性研、2.NTT NPC)

ナノワイヤ、金微粒子、無電解メッキ

100 nm以上のナノワイヤ径を得るために無電解メッキによる金微粒子の形成を試みた。室温、p型基板上で 100 nm以上の径の金微粒子が分散して形成されることを確認した。InP基板上で作製したサンプルでInPナノワイヤ成長を行い良好に成長していることを確認した。