応用物理学会春季・秋季学術講演会

プローブ顕微鏡を用いた表面形状測定から得られるパワースペクトル密度(PSD)と傾きヒストグラムを指標とした金属表面の摩擦・磨耗特性の評価について調べた。ヒストグラムは正規分布に従い，その標準偏差が表面粗さの指標になること，PSDはどの試料もf ^-nの傾きを基本にしていることを示してきた。今回は表面形状測定に新たにAFMを用いた結果を報告する。